mems是什么意思（MEMS是什么意思）

mems即微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。

TAG:范围内  英语  微机  机械工程  缩写